設(shè)備用途:主要用于晶體硅太陽(yáng)能電池制造中硅片的摻雜形成PN結(jié)
工藝流程:石英舟及硅片準(zhǔn)備→插片→上料→選擇工藝運(yùn)行→進(jìn)舟→升溫穩(wěn)定→通氧→通源→推進(jìn)→恒溫→出舟→下舟冷卻→測(cè)試→卸片
技術(shù)特點(diǎn):
●工藝舟軟著陸
●精確溫度控制系統(tǒng)
●閉管擴(kuò)散
●全數(shù)字化控制系統(tǒng)
●數(shù)字式MFC精確控制氣體流量
●隔熱和密封的爐門(mén)系統(tǒng)
●防污染的尾部廢氣處理系統(tǒng)
●緊湊的造型設(shè)計(jì)