設(shè)備用途:主要用于晶體硅太陽(yáng)能電池片周邊的刻蝕
技術(shù)特點(diǎn):
●有效的真空檢測(cè)裝置安裝方法,保證真空準(zhǔn)確性,同時(shí)可延長(zhǎng)其清理校準(zhǔn)周期。
●先進(jìn)的控制方式和獨(dú)特的軟件,保證工藝過(guò)程的準(zhǔn)確性、生產(chǎn)的穩(wěn)定性和操作的簡(jiǎn)便。
●有效的反應(yīng)氣體處理裝置,延長(zhǎng)換泵油時(shí)間,延長(zhǎng)泵使用壽命,降低使用成本。
●比國(guó)內(nèi)設(shè)備同行更成熟可靠的刻蝕工藝,確保刻蝕效果得到提升,直接提升產(chǎn)品品質(zhì)。
●人性化的機(jī)器外形設(shè)計(jì),和觸摸屏人機(jī)對(duì)話方式,更便于操作、維護(hù)、保養(yǎng)。
●配置進(jìn)口壓力傳感器(薄膜規(guī)),采用獨(dú)特的安裝方式,有效防止粉塵粘附,提高抗干擾能力,消除零飄。
●優(yōu)化設(shè)計(jì)的線圈固定裝置,線圈與石英管距離一致,并且確保線圈無(wú)脫落。
●獨(dú)特的輝光中斷報(bào)警功能。避免由于設(shè)備故障產(chǎn)生刻蝕不凈的電池片下傳。