M-2型手持式數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方
阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭等二部分組成,也可加配測試臺。
主機主要由數控恒流源,高分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成,自動轉換量程。儀器所有參數設定、功能轉換
全部采用一旋鈕輸入;具有零位、滿度自校功能;全自動轉換量程;測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀采
用可充電電池供電,適合手持式變動場合操作使用!
探頭選配:根據不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、
金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂
層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具
,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配專用探頭,也可測試電池極
片等箔上涂層電阻率方阻。
詳見 表2《四探針探頭型號規格特征選型參照表》點擊進入
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、使用簡便等特點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
三、基本技術參數
1. 測量范圍、分辨率
電 阻: 0.010 ~ 9999Ω, 分辨率0.001 ~ 1 Ω
電 阻 率: 0.010~ 2000Ω-cm, 分辨率0.001 ~ 1 Ω-cm
方塊電阻: 0.050~ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ~ 1 Ω/□
2. 材料尺寸
手持方式不限材料尺寸,但加配測試臺則由選配測試臺和測試方式決定
直 徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm。
SZT-C方測試臺直接測試方式180mm×180mm。
長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm。.
測量方位: 軸向、徑向均可.
3. 量程劃分及誤差等級
量程(Ω-cm/□) 9.999 99.99 999.9 9999.
電阻測試范圍 0.010~9.999 9.99~99.99 99.99~999.9 999.9~9999
電阻率/方阻 0.010/0.050~9.999 9.99~99.99 99.99~999.9 999.9~2000
基本誤差 ±1%FSB±2LSB ±2%FSB±2LSB
4) 適配器工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,或電池供電
5) 外形尺寸:W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
凈 重:≤0.5kg