ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/

方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《

硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā凡⒖济绹?guó)

A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
      儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)等部分組成。
      主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用

數(shù)字化鍵盤(pán)輸入；具有零位、滿度自校功能；電壓電流全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試

儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能，最大分類10類。
      探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、

金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂

層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具

，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配專用探頭，也可測(cè)試電池極

片等箔上涂層電阻率方阻。
      測(cè)試臺(tái)選配：一般四探針?lè)y(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。二探針?lè)y(cè)試電

阻率測(cè)試選SZT-K型測(cè)試臺(tái)，也可選配SZT-D型測(cè)試臺(tái)以測(cè)試半導(dǎo)體粉末電阻率，選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)測(cè)試橡塑材

料電阻率。
        詳見(jiàn)《四探針儀器、探頭和測(cè)試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考》點(diǎn)擊進(jìn)入
       儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。
       儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)

試。
三、基本技術(shù)參數(shù)
1. 測(cè)量范圍、分辨率（可向下拓展1～3個(gè)數(shù)量級(jí)，括號(hào)內(nèi)為向下拓展3個(gè)數(shù)量級(jí)）
     電    阻：1.0×10-3 ～ 200.0×105  Ω,    分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×104  Ω
                （1.0×10-6 ～ 200.0×102  Ω,    分辨率0.1×10-6 ～ 0.1×102 Ω）
     電 阻 率：1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103  Ω-cm
                （1.0×10-6 ～ 200.0×101 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ～ 0.1×101  Ω-cm）
     方塊電阻：5.0×10-3 ～ 100.0×104 Ω/□  分辨率0.5×10-3 ～ 0.1×103  Ω/□
                （5.0×10-6 ～ 100.0×101 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×101  Ω/□）
2. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)
   直    徑： SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
   SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm，手持方式不限.
   長(zhǎng)(高)度：  測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    手持方式不限.
   測(cè)量方位:  軸向、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級(jí)
滿度顯示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0
常規(guī)量程 kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
最大拓展量程 Ω-cm/□ mΩ-cm/□ μΩ-cm/□
基本誤差 ±2%FSB
±4LSB ±1.5%FSB
±4LSB ±0.5%FSB±2LSB ±0.5%FSB
±4LSB

4) 工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
5) 外形尺寸：W×H×L=215mm×85mm×190mm
      凈   重：≤1.5～2.0kg