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儀器簡介：
CS200(A）:高性價比產(chǎn)品
高精度，多氣體多量程，自動調(diào)零，量程5sccm-50slm
橡膠密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數(shù)字485、DeviceNet
技術(shù)參數(shù)：
| 型號????? | CS200（A） |
| ? 流量規(guī)格（N2）? | ?? ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM? （0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM |
| 準(zhǔn)確度? | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
| 線性?????????? | ±0.5% F.S. |
| ?重復(fù)精度??????? | ? ±0.2% F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤ 1sec |
| 閥類型 | Normally Closed?or?Normally Open |
| 工作壓差范圍 | (0.05～0.35) Mpa（≤10slm） （0.1～0.35) Mpa（20slm，30 slm） (0.2～0.45) Mpa（50 slm） ＜0.02MPa |
| 溫度系數(shù) | Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
| 最大工作壓力? | 3MPa |
| 零漂 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 漏率 | 1×10-9 atm?cc / sec He（1×10-10 Pa?m3 / sec He） |
| 密封材料 | Viton;Neoprene |
| 表面粗糙度 | 25Ra |
| 工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ |
| 輸入信號 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC?or?(4～20)mA |
| 輸出信號 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC and (4～20)mA |
| 電源 | ±11 ~ ±16 VDC?or?+11 ~ +28 VDC(400mA) |
| 電氣連接 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4” M；SwagelokΦ3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal |
| 重量 | 1kg |
