互連就是將晶體管與其它電路元件互相連接并通向外界的電氣通路，對于微芯片的速度和可靠性是至關重要的。現(xiàn)代微處理器有多達10層的互連布線，這種錯綜復雜的結構是整個芯片制造過程中工藝最密集（因而是最昂貴）的部分之一。