電極印刷即是印刷導(dǎo)電層至電池,是太陽能電池制程的重要過程,
Manz在此方面同時(shí)可提供獨(dú)立高輸出功率印刷系統(tǒng),也可提供完整的后段制程。單一產(chǎn)線每小時(shí)可生產(chǎn)2400片晶圓片,這些設(shè)備可以和以下印刷設(shè)備外的其它制程整合在一起:
- 內(nèi)建有隱裂檢測(cè)的自動(dòng)化/取片機(jī)
- 內(nèi)建印刷檢測(cè)功能之正面印刷
- 內(nèi)建印刷檢測(cè)功能之背面印刷
- 干燥爐
- 燒結(jié)爐
- 激光邊緣絕緣處理
- 電池測(cè)試機(jī)和分類機(jī)之
- 電學(xué)性能檢測(cè)(太陽能仿真器)
- EL(電激發(fā)光)檢測(cè)(自動(dòng)檢測(cè)隱裂和制程控制)
- 正面電極印刷檢測(cè)
- 背面電極印刷檢測(cè)
- 色彩檢測(cè)
Manz也具有先進(jìn)制程的解決方案(例如:選擇性電極)。利用特殊的影像處理系統(tǒng)和精密自動(dòng)化的高精度印刷機(jī),前制成結(jié)構(gòu)將被以高達(dá) + / - 10μm的精度加以定位。高精密印刷機(jī)也可整合在Manz的后段制程,來做二次印刷。
Manz最新研發(fā)的產(chǎn)品是Aerosol Jet印刷機(jī),此利用噴霧式制程,使正面電極可印刷在未導(dǎo)電的電池。在此過程中,利用噴墨的方式制造晶種層,下一步驟再上一層純銀。此舉不但減少了電阻,還可增加約 0.5%的發(fā)電效率。而不使用絲網(wǎng)印刷所獲得的額外好處,除了降低成本(制造、洗凈、前制程成本),也是一個(gè)不須實(shí)際碰觸晶圓片的制程,因此可以大幅降低破片率。