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MOCVD設(shè)備尾氣處理裝置的過濾器選型

  2022-11-09

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Veeco K465i外延設(shè)備濾芯_MOCVD設(shè)備過濾器_高溫粉塵濾芯_玻纖濾芯   、產(chǎn)品具有過濾精度高、起始?jí)翰钚?、流通能力大、納污容量大以及使用壽命長的特點(diǎn)。主要性能指標(biāo)達(dá)到進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)件水準(zhǔn),可直接替代同類進(jìn)口產(chǎn)品。 

   律特霍爾可生產(chǎn)替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD設(shè)備K-465,K465i,E-300 機(jī)型的濾芯。 可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì),訂做。(調(diào)整:尺寸,使用材料,整體構(gòu)造等)為客戶產(chǎn)品打造合適的濾芯,確保各種過濾要求,達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的過濾效果。   

     替代Veeco  K465 K465i E300外延設(shè)備濾芯 產(chǎn)品說明: 該產(chǎn)品系我司針對Veeco K465i設(shè)備設(shè)計(jì)生產(chǎn)的濾芯,安裝于真空泵前,用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒; 2只/組(粗濾、細(xì)濾) 

 組成材料: 1、濾材: 耐高溫玻纖濾料 2、支撐材料:雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng) 3、骨架:304#不銹鋼菱形網(wǎng) 4、密封墊圈:硅發(fā)泡橡膠墊片 5、密封膠:硅橡膠 過濾效率: 1、粗濾:100μm=90% 2、細(xì)濾:25μm=99.95% 3、透氣量:1000L/Sec/㎡ 

 產(chǎn)品特性: 1、采用兩級(jí)過濾工藝,分級(jí)過濾雜質(zhì)、有效去除不同大小的顆粒雜質(zhì)。 2、波紋工藝,有效過濾面積增加,容污能力強(qiáng),使用周期長。 3、濾料采用玻纖濾料,具耐高溫、耐腐蝕,長期使用溫度可達(dá)250度以上。 4、專用的高精度過濾材料,空隙均勻,過濾精度高,有效保護(hù)設(shè)備。

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